कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF₄) एक फ्लोरीन है जिसमें स्थिर रासायनिक गुण होते हैं। यह 50,000 वर्षों तक वायुमंडल में रहता है, इसका उच्च ग्रीनहाउस प्रभाव होता है, और यह पर्यावरण के अनुकूल नहीं है। हाइड्रोकार्बन उत्पादों का उपयोग CF₄ के विकल्प के रूप में किया जा सकता है।
CF₄ का उपयोग सिलिकॉन, सिलिकॉन डाइऑक्साइड और सिलिकॉन नाइट्राइड जैसी पतली फिल्म सामग्री पर महीन सर्किट के निर्माण में प्लाज्मा नक़्क़ाशी गैस के रूप में किया जाता है। इसका बेहद कम क्वथनांक (-128 डिग्री) इसे सुपरकंडक्टिंग अनुसंधान, क्रायोजेनिक सर्जरी और कूलिंग इंफ्रारेड डिटेक्शन उपकरण के लिए उपयुक्त बनाता है। इसका उपयोग धातु गलाने (जैसे एल्यूमीनियम और स्टेनलेस स्टील) में एक सुरक्षात्मक गैस के रूप में और प्लास्टिक उद्योग में सिंथेटिक योजक के रूप में भी किया जाता है।
CF₄ गैर-{0}विषाक्त और गैर-ज्वलनशील है, लेकिन उच्च सांद्रता ऑक्सीजन के आंशिक दबाव को कम कर सकती है और दम घुटने का कारण बन सकती है (लक्षणों में चक्कर आना और कोमा शामिल है)। सीएफ₄ को ताप स्रोतों (भंडारण तापमान 30 डिग्री से कम या उसके बराबर) से दूर संग्रहित किया जाना चाहिए और ज्वलनशील पदार्थों और ऑक्सीडाइज़र के साथ मिश्रण से बचें। शारीरिक प्रभाव को रोकने के लिए सिलेंडरों में CF₄ को रबर की अंगूठी से संरक्षित किया जाना चाहिए।
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