CF4

कार्बन टेट्राफ्लुओराइड CF4 फ्लोरीन और मुक्त कट्टरपंथी कार्बन फ्लोराइड का एक स्रोत है, जिसका उपयोग विभिन्न वेफर नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं में किया जाता है . कार्बन टेट्राफ्लुओराइड CF4 को ऑक्सीजन के साथ जोड़ा जाता है, जो कि पॉलीसिलिकॉन, सिलिकॉन डाइऑक्साइड और सिलिकॉन नाइट्राइड में है। एक रेडियो आवृत्ति प्लाज्मा वातावरण में अनवेन्टिलेटेड क्षेत्र ., फ्लोरीन मुक्त कट्टरपंथी विशिष्ट कार्बन ट्राइफ्लोराइड या कार्बन डिफ्लोराइड . के रूप में दिखाई देते हैं। जब वे हवा या ऑक्सीजन . का सामना करते हैं, तो विशेष नियंत्रण (जैसे कि अर्धचालक अनिसोट्रॉपी नियंत्रण) और इसकी उच्च शुद्धता गैस और उच्च शुद्धता वाले कार्बन टेट्राफ्लुओराइड गैस और उच्च-शुद्धता वाले केशन ऑक्सीजन के मिश्रण का व्यापक रूप से सिलिकॉन के मोमबत्ती के पंखों में इस्तेमाल किया जा सकता है सामग्री .

कार्बन टेट्राफ्लोराइड CF4 का उच्च सांद्रता . पर एक संवेदनाहारी प्रभाव होता है। और थर्मल स्थिरता, कई अभिकर्मकों के लिए निष्क्रिय है, और 1000 डिग्री . पर हाइड्रोलाइज नहीं करता है, यह तांबे, निकल, और टंगस्टन के साथ कमरे के तापमान पर प्रतिक्रिया नहीं करता है . सीएफ बॉन्ड की अत्यंत मजबूत रासायनिक स्थिरता के कारण, {

Tetrafluoromethane (CF4) में उच्च स्थिरता होती है और यह पूरी तरह से गैर-ज्वलंत गैस है . यह कमरे के तापमान पर एसिड, अल्कलिस और ऑक्सीडेंट के साथ प्रतिक्रिया नहीं करता है कमरे के तापमान पर अमोनिया-सोडियम धातु अभिकर्मक, और CF4 क्षार धातुओं, क्षारीय पृथ्वी धातुओं, और SiO2 के साथ प्रतिक्रिया कर सकते हैं, उच्च तापमान पर इसी फ्लोराइड्स . CF4 को 800 डिग्री पर विघटित करना शुरू कर सकते हैं और कुछ लोगों के साथ प्रतिक्रिया कर सकते हैं। कार्बन चाप तापमान पर अन्य फ्लोरोकार्बन को संश्लेषित करने के लिए .}

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